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MCML-100/MCML-120A SERIES 無(wú)掩膜數(shù)字光刻機(jī) Digital Maskless Aligner  

MCML-100/MCML-120A SERIES 無(wú)掩膜數(shù)字光刻機(jī) Digital Maskless Aligner
產(chǎn)品特點(diǎn)采用數(shù)字微鏡 (DMD) 的無(wú)膜模掃描式光刻機(jī),365nm波長(zhǎng)直接從數(shù)字圖形生成光刻圖案,免去制作掩模板的中間過(guò)程,支持直接讀取GDSII和BMP文件全自動(dòng)化的對(duì)焦和套刻,易于使用晶圓連續(xù)運(yùn)動(dòng)配合DMD動(dòng)態(tài)曝光,無(wú)拼接問(wèn)題。全幅面絕對(duì)定位精度0.1um套刻精度: 0.2um500 nm / 1 um分辨率,100mm x 100mm最大幅面(4~6寸晶圓),滿(mǎn)幅面曝光時(shí)間5~30分鐘500um最小線寬可灰度曝光(128階)尺寸小巧,可配合專(zhuān)用循環(huán)裝置產(chǎn)生內(nèi)部潔凈空間


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產(chǎn)品型號(hào) 2
貨號(hào) 操作 名稱(chēng)
H80050012  無(wú)掩膜數(shù)字光刻機(jī) MCML-110A   [PDF] 波長(zhǎng):365nm; 最大幀:100mm x 100mm; 分辨率:1.0um; 灰度光刻:64 levels; 最大曝光量:500mJ/cm2; 對(duì)準(zhǔn)精度:<200nm; 場(chǎng)曲率:< 1 um; 速度:5mm2 /sec; 輸入文件 BMP; GDSII; Z級(jí)精度 <1 um; 環(huán)境 20~25℃     價(jià)格 : 請(qǐng)聯(lián)系客服 庫(kù)存/貨期:請(qǐng)咨詢(xún)客服
H80050011  無(wú)掩膜數(shù)字光刻機(jī) MCML-120A   [PDF] 波長(zhǎng):365nm; 最大幀:100mm x 100mm; 分辨率:500nm; 灰度光刻:128 levels; 最大曝光量:2000mJ/cm2; 對(duì)準(zhǔn)精度:<100nm; 場(chǎng)曲率:< 1 um; 速度 2.5mm2 /sec; 輸入文件 BMP; GDSII; Z級(jí)精度 <1 um; 環(huán)境 20~25℃;     價(jià)格 : 請(qǐng)聯(lián)系客服 庫(kù)存/貨期:請(qǐng)咨詢(xún)客服
總覽

產(chǎn)品特點(diǎn)

采用數(shù)字微鏡 (DMD) 的無(wú)膜模掃描式光刻機(jī),365nm波長(zhǎng)

直接從數(shù)字圖形生成光刻圖案,免去制作掩模板的中間過(guò)程,支持直接讀取GDSII和BMP文件

全自動(dòng)化的對(duì)焦和套刻,易于使用

晶圓連續(xù)運(yùn)動(dòng)配合DMD動(dòng)態(tài)曝光,無(wú)拼接問(wèn)題。全幅面絕對(duì)定位精度0.1um

套刻精度: 0.2um

500 nm / 1 um分辨率,100mm x 100mm最大幅面(4~6寸晶圓),滿(mǎn)幅面曝光時(shí)間5~30分鐘

500um最小線寬

可灰度曝光(128階)

尺寸小巧,可配合專(zhuān)用循環(huán)裝置產(chǎn)生內(nèi)部潔凈空間

通用參數(shù)

應(yīng)用

微流控、生物芯片、MEMS、功率器件、LED等試制加工

帶有2.5D圖案的微光學(xué)元件,衍射光器件制作

 教學(xué)、科研

 

參數(shù)


MCML-110A

MCML-120A

Wavelength 波長(zhǎng)

365nm

365nm

Max. frame 最大幀

100mm x 100mm

100mm x 100mm

Resolution 分辨率

1.0um

500nm

Grayscale lithography

灰度光刻

64 levels

128 levels

Max exposure

最大曝光量

500mJ/cm2

2000mJ/cm2

Alignment accuracy

對(duì)準(zhǔn)精度

<200nm

<100nm

field curvature

場(chǎng)曲率

< 1 um

< 1 um

Speed

速度

5mm2 /sec

2.5mm2 /sec

Input file

輸入文件

BMP, GDSII

BMP, GDSII

Z level accuracy

Z級(jí)精度

<1 um

<1 um

Environment

環(huán)境

20~25℃

20~25℃

 

樣品





(SU8-2002, 2um膠厚,2寸硅基底)











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