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用于晶圓的極向克爾效應測量系統(tǒng) BH-810CPC25


光源:二極管激光器(408nm 或 650nm); 測量克爾效應:極向克爾效應; 激光光斑直徑:<φ1mm; 磁場:平面外方向 Max. >±20kOe (±2T); 晶圓尺寸:8 英寸或 12 英寸晶圓

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用于磁性半導體的 8 英寸或 12 英寸晶圓目標映射測量的非接觸式評估系統(tǒng)。

通用參數(shù)


光源二極管激光器(408nm 或 650nm)
測量克爾效應極向克爾效應
激光光斑直徑<φ1mm
磁場平面外方向:Max. >±20kOe (±2T)
晶圓尺寸8 英寸或 12 英寸晶圓


測量示例

img_47.png





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